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[多选题]

下列5个能量选项中,哪些可能在光刻加工的曝光工艺中应用()

A.电子束

B.离子束

C.激光束

D.超声波

E.等离子体

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第1题

能量束加工主要形式:()。

A.电子束微细加工

B.聚焦离子束微细加工

C.激光束微细加工

D.光刻微细加工

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第2题

下列切削加工中属于超精密加工的是()。

A.金刚石超精密车削

B.光刻加工

C.超声研磨

D.激光加工

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第3题

微传感器的产生源自于微机电技术,其中微机电的主流技术包括()。

A.超精密加工与特种加工

B.硅基微加工

C.光刻技术

D.其它选项都对

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第4题

一次装夹加工箱体零件的5个表面,下列选项中,宜选用的是()。

A.卧式数控铣床

B.立式数控铣床

C.立卧两用数控铣床

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第5题

下列工件材料选项中,不适于电火花加工的是()。

A.足够的工作液

B.足够的放电通道

C.足够的时间间隔

D.足够的电参数能量

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第6题

波长(λ)下列哪些波长是光刻工艺中常用的()

A.632nm

B.365nm

C.248nm

D.193nm

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第7题

关于下列分子结构的叙述中正确的是()

A.6个碳原子有可能都在一条直线上

B.有5个碳原子可能在一条直线上

C.6个碳原子一定都在同一平面上

D.6个碳原子不可能都在同一平面上

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第8题

下列选项,哪项属于认知能量分配理论提出的加工方式?

A.资源限制加工

B.材料限制加工

C.控制性加工

D.自动加工

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第9题

光刻胶波长越长,加工分辨率越高。不同的集成电路工艺在光刻中对应使用不同波长的光源。()
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第10题

【多选题】地球的能量体系包括内生能和外生能,下列选项中属于内生能有哪些()

A.放射性元素的衰变与裂变能

B.化学能

C.重力能

D.天体引力能

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