高效过滤器安装前需进行外观检查和仪器检漏。安装后，在调试前应进行扫描检漏。

A.高效过滤器安装时要保证滤料的清洁和严密

B.高效过滤经全面清扫、擦拭，空吹12—24h后方可进行安装

C.高效过滤器安装前应先进行仪器检漏，随后重点检查过滤器外观有无破损等

D.高效过滤器应在洁净室安装现场拆开包装

E.高效过滤器安装前，洁净室大部分内装修工程应完成

A.每台产品必须检漏

B.根据订货要求进行检漏

C.抽检

D.不检验

A.20～80

B.10～20

C.2～8

D.80～100

A.真空检漏

B.仪器检漏

C.卤素灯检漏

A.5h

B.11h

C.6～11h

D.12～24h

A.流量控制器

B.泵和仪器出口连接处

C.仪器内部气样过滤器、反应室和流量计

D.外部管道和所有接头

A.3

B.5

C.2

D.1

A.80%～120%

B.80%～100%

C.100%～120%

D.90%～110%

高效过滤器用于有较高净化要求的场合，需要有粗效或中效过滤器作为前级保护。()

A.6cm以上

B.4～6cm

C.2～4cm

D.8cm以上