题目内容
(请给出正确答案)
[多选题]
离子注入机按能量高低分为()。
A.低能离子注入机(能量范围<100keV)
B.中能离子注入机(能量范围100~300keV)
C.高能离子注入机(能量范围>300~1000keV)
D.兆伏离子注入机(能量范围>1000keV)
E.千伏离子注入机(能量范围>1000keV)
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A.低能离子注入机(能量范围<100keV)
B.中能离子注入机(能量范围100~300keV)
C.高能离子注入机(能量范围>300~1000keV)
D.兆伏离子注入机(能量范围>1000keV)
E.千伏离子注入机(能量范围>1000keV)
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