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[判断题]
表面成分分析主要有X射线光电子能谱、俄歇电子能谱、低能离子衍射谱仪等。（)
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A.电子光学系统、信息检测系统、扫描系统、真空系统、电源系统和X射线能谱仪
B.电子光学系统、信息检测系统、扫描系统、信息收集系统、电源系统和γ射线能谱仪
C.电子光学系统、住处采集系统、扫描系统、信息收集系统、电源系统和β射线能谱仪
D.电子光学系统、信息采集系统、信息检测系统、扫描系统、电源系统和γ射线能谱仪
