在VLSI工艺中，常用的前烘方法是（)。

A.冷冻法

B.染色法

C.加热法

D.辐射法

A.化学药剂法

B.物理法(热、光、紫外线等)

C.机械法

D.辐射法

A.恒温烘干法

B.卡尔.费休法

C.共沸蒸馏法

D.真空干燥法

A.对流

B.传导

C.辐射

D.传出

A.浸渍法

B.涂抹法

C.注射法

D.熏蒸法

A.传导

B.对流

C.辐射

D.传播

A.电磁波辐射

B.红外线辐射线

C.油脂的对流

D.热空气的对流

E.钢板的热传导

A.秤瓶比重法

B.烧(或烘)干法

C.核子密度仪法

D.比重计法

A.传导

B.对流

C.倍增

D.辐射

A.循环热风干燥法

B.电流干燥法

C.灯泡烘干法

D.红外线灯干燥法