题目内容
(请给出正确答案)
[多选题]
常用的激光干涉测长传感器包括()。
A.霍尔传感器
B.光电扭矩传感器
C.单频激光干涉式传感器
D.双频激光干涉式传感器
E.压电激光传感器
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A.霍尔传感器
B.光电扭矩传感器
C.单频激光干涉式传感器
D.双频激光干涉式传感器
E.压电激光传感器
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