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[判断题]

溅射产额与入射离子的参数如离子质量、速度、角度等有关,也与靶材参数如靶材原子质量、结合能等有关,另外温度越高,原子震动越快,原子更容易被溅射出去,因此溅射产额一般和温度正相关。()

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