题目内容
(请给出正确答案)
[多选题]
Multi设备更换Diffuser、Susceptor等备件后复机,以下说法正确的是()
A.复机前需要进行EECheck,每层L/L都需要进行确认,没问题方可进行后续SL
B.SL结果OK后,正常需要进行2sh量产确认,测试PI/THK/MM
C.首次量产确认的PI/THK/MM确认OK后,chamber可以Release连续进行
D.chamber复机后需要分别用T_4和B_ASi的Cleanrecipe进行EPM确认,在EPM结果出来之前,先用T_4的cleanrecipe连续进行
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