采用平坦化工艺可以得到更高的分辨率，使薄膜均匀化，减少缺陷，提高成品率。

采用平坦化工艺可以得到更高的分辨率，使薄膜均匀化，减少缺陷，提高成品率。

平坦化就是一种去除表面凹凸，使晶片表面保持平整平坦的工艺。

平坦化就是一种去除表面凹凸，使晶片表面保持平整平坦的工艺。

平坦化就是一种去除表面凹凸，使晶片表面保持平整平坦的工艺。

快速热退火晶化（RTP）法是采用（）加热的方式，在数十秒内将非晶硅薄膜加热到1000℃以上的高温，并进行快速降温来晶化多晶硅薄膜的热处理工艺。

快速热退火晶化（RTP）法是采用（）加热的方式，在数十秒内将非晶硅薄膜加热到1000℃以上的高温，并进行快速降温来晶化多晶硅薄膜的热处理工艺。

NMR测定时，为了使通过样品的磁场强度的微小不均匀性平均化，以减小非均匀性，提高谱峰分辨率，样品管需（）。（选填静止不动；屏蔽；高速旋转；抽真空）

NMR测定时，为了使通过样品的磁场强度的微小不均匀性平均化，以减小非均匀性，提高谱峰分辨率，样品管需 。（选填静止不动；屏蔽；高速旋转；抽真空）

47、扩散是各种原子在体系中趋向均匀化的过程。为了使这种均匀化加速，各种原子必须得到足够的能量，使它们能以一定的速度移动，因此需要加热。