14、能谱和波谱都可以检测元素成分，两种仪器没有区别。

A.波谱仪；

B.能谱仪；

C.俄歇电子谱仪；

D.特征电子能量损失谱。

A.俄歇电子能谱

B.X射线光电子能谱

C.X射线波谱仪

D.X射线能谱仪

A.快速高效；

B.精度高；

C.没有机械传动部件；

D.价格便宜

A.能谱仪的分辨率比波谱仪低

B.能谱仪中因Si（Li）检测器的铍窗口限制了超轻元素X射线的测量，因此不适宜分析原子序数小于5的轻元素。

C.能谱仪的Si（Li）探头必须保持在低温状态，因此必须时时用液氮冷却。

D.能谱仪不适合粗糙表面的分析。