气相反应法制备纳米颗粒具有多方面优点，如产物纯度高、颗粒分散性好、颗粒均匀、粒径小、粒径分布窄、粒子比表面积大、化学反应性与活性高等。气相化学反应法适合于制备各类金属、氯化物、氮化物、碳化物、硼化物等纳米颗粒，特别是通过控制气体介质和相应的合成工艺参数，可以合成高质量的各类物质的纳米颗粒。