真空泵通常分为：①机械真空泵（105Pa～0.8Pa），如活塞式、水环式、油环式、油封旋转式等；②分子泵，利用冷凝吸附的原理工作；③蒸汽流泵，利用蒸汽流喷射形成负压带走气体；④液体喷射泵，利用液体喷射形成负压带走气体；⑤其它泵，如电离泵、离子泵等。 各类真空泵有各自的使用范围，而抽吸大量水蒸汽又要求高真空时，可用真空机组。