题目内容（请给出正确答案）

[主观题]

硅片表面的颗粒沾污一方面来自净化间外带来的颗粒、净化服中的纤维，一方面是来自制造工艺引入，例如设备、原材料等等。

答案

颗粒;有机残余物;金属离子;自然氧化层

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