光刻加工的主要阶段有()。

A.中和碱性显影液

B.停止显影

C.使乳剂膜膨胀

D.坚膜效果

E.防止灰雾

A.中和碱性显影液

B.停止显影

C.灰雾增加

D.坚膜效果

E.防止灰雾

A.原图

B.照相

C.涂覆

D.曝光

E.显影

F.固膜G.腐蚀

显影补充液的组成不包括

A、保护剂

B、促进剂

C、缓冲剂

D、坚膜剂

E、催化剂

定影液的作用不包括

A．防止灰雾

B．停止显影

C．中和碱性显影液

D．使乳剂膜收缩

E．有坚膜效果

A.中和碱性显影液

B.停止显影

C.灰雾增加

D.坚膜效果

E.防止灰雾

A.电子束

B.离子束

C.激光束

D.超声波

E.等离子体

下列组合，错误的是

A、明矾--坚膜

B、醋酸--显影停止剂

C、溴化钾--定影保护剂

D、亚硫酸钠--防止海波分析出硫

E、硫代硫酸钠--定影剂

微细加工工艺方法有

A超微机械加工

B光刻加工

C体刻蚀加工

D面刻蚀加工