题目内容
(请给出正确答案)
[多选题]
以下技术属于物理气相沉积的有()。
A.真空蒸镀
B.溅射镀膜
C.离子镀
D.等离子弧喷涂
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A.真空蒸镀
B.溅射镀膜
C.离子镀
D.等离子弧喷涂
第5题
A.化学气相沉积可以选取任意的反应物
B.化学气相沉积是通过气相化学反应生成固态产物并沉积在固体表面的过程
C.物理气相沉积过程没有发生化学反应
D.气相沉积包括化学气相沉积和物理气相沉积
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