题目内容（请给出正确答案）

[单选题]

离子束加工技术利用注入效应加工的是（)。

A.溅射镀膜

B.离子镀

C.离子注入

D.离子束刻蚀

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ABCD

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第1题

在离子束加工时中，哪种加工方式能改变工件表面材料成分（)。

A.离子刻蚀

B.离子注入

C.离子溅射沉积

D.离子镀

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第2题

在离子束加工中，离子束投射到材料表面产生的两种效应是溅射效应和注入效应。（)

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第3题

离子束刻蚀是利用具有一定能量的（)轰击材料表面，使材料原子发生溅射，从而达到刻蚀目的。

A.电子

B.离子

C.原子

D.分子

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第4题

以下技术属于物理气相沉积的有（)。

A.真空蒸镀

B.溅射镀膜

C.离子镀

D.等离子弧喷涂

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第5题

激光加工与离子束加工要求有真空装置。（)

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第6题

离子束加工使用的是负离子。（)

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第7题

能够在淬硬材料上加工φ3小孔的特种加工方法有（)

A.超声波加工

B.电火花加工

C.离子束加工

D.激光加工

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第8题

干法刻蚀主要包括下面几类（)。

A.离子束刻蚀IBE

B.等离子体刻蚀PE

C.反应离子刻蚀RIE

D.高密度等离子体刻蚀HDP

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第9题

用于离子辅助镀膜的离子源，有产生离子束的，也有产生等离子体的。潘宁离子源是一种典型的产生等离子体的离子源。（)

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第10题

（)是与气体辉光放电现象密切想关的一种薄膜淀积技术。

A.蒸镀

B.离子注入

C.溅射

D.沉积

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