题目内容
(请给出正确答案)
[多选题]
更换承片台后,生产组长应该做()工作
A.校准三点一线
B.测量顶针预顶高度
C.校准承片台极限
D.校准晶圆极限
E.校准晶圆ULOAD位置
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A.校准三点一线
B.测量顶针预顶高度
C.校准承片台极限
D.校准晶圆极限
E.校准晶圆ULOAD位置
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