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[单选题]

不是导致显影后线宽变窄的原因是()

A.抽真空不够

B.喷嘴堵塞

C.显影温度太低

D.显影压力过高

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第1题

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第2题

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第7题

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第9题

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第10题

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B. 个别喷嘴堵塞

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第11题

冷箱系统压差过大、温度分布异常的可能原因是()。

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