题目内容
(请给出正确答案)
[主观题]
什么是化学气相沉积,它的基本过程有哪些?什么是物理气相沉积,两种?技术特点是什么?
答案
乃是通过化学反应的方式,利用加热、等离子激励火光辐射等各种能源,在反应器内使七台或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术。
这种技术可以提高材料抵御环境作用的能力,如提高材料表面的硬度、耐磨性和耐腐蚀性;他还可以赋予材料某些功能特性,包括光、电、磁、热、声等各种物理和化学性能。
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第5题
A.等离子体增强化学气相沉积法(PCVD);
B.改进的化学气相沉积法(MCVD);
C.低压化学气相沉积法(LPCVD);
D.气相轴向沉积法(VAD)。
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